
急速なアニーリング炉
製品コンセプト

迅速なアニーリング炉は、省エネの操作炉です。アニーリング炉です。当社が専門的に設計した断熱層を備えており、業界最大の標準的な高純度セラミックファイバー高電圧モジュールを採用して、完全な繊維断熱炉の裏地を形成しています。炉の加熱要素は、材料から設計へと厳密に制御され、最高の熱効率を実現し、迅速な加熱を達成し、アニーリング熱処理プロセスを迅速に完了します。省エネと省電力の利点はより顕著です。マイクロコンピュータープログラムは、アニーリングプロセス全体を制御し、アニーリングプロセスに必要な電力をリアルタイムで自動的に計算し、前年比でエネルギーとパワーを30〜50%節約します。
炉は通常、ヨウ素タングステンランプを加熱要素として使用し、温度測定にはSタイプの熱電対を使用し、高温制御精度で国際的にリードするファジーピド制御を使用して使用します。<±5℃>、そして、迅速なアニーリング炉には、さまざまな雰囲気で動作できる真空デバイスがあります。使用範囲を大幅に改善します。必要な標準アクセサリ:1ペアの高温手袋、1つの熱電対、1つのクォーツチューブ、1セットの真空フランジ。オプションのアクセサリ:アルミナクルーシブル、クォーツクルーシブル、真空ポンプ。
製品機能
1。高動作温度。
2。高温制御精度。
3。単純な操作。
4。簡単なメンテナンス。
アプリケーション領域
1。ラピッドサーマルプロセシング(RTP)、迅速なアニーリング(RTA)、急速熱酸化(RTO)、急速熱窒化(RTN);
2。イオン着床/接触アニーリング。
3。金属合金;
4。熱酸化処理。
5。化合物合金(hallium、harsenide、窒化物など);
6。ポリシリコンアニーリング。
7。太陽電池アニーリング。
8。高温アニーリング。
9。高温拡散。
技術的なパラメーター
|
パラメーター名 |
ユニット |
モデル |
|||
|
RT4-180-9 |
RT4-220-9 |
RT4-300-9 |
|||
|
定格電力 |
KW |
180 |
220 |
300 |
|
|
定格電圧 |
V |
380 |
|||
|
動作温度。 |
程度 |
950 |
|||
|
炉のサイズ |
D |
うーん |
2100 |
2500 |
3000 |
|
W |
うーん |
1050 |
1300 |
1500 |
|
|
H |
うーん |
750 |
900 |
1200 |
|
|
加熱要素接続 |
Y |
||||
|
空の炉の暖房時間 |
h |
2-3 |
|||
|
温度制御の精度 |
程度 |
±1 |
|||
|
マックス。負荷容量 |
Kg |
5000 |
7000 |
11000 |
|
|
重さ |
キログラム |
5600 |
8500 |
9200 |
|
当社は、ユーザーのニーズに応じて、ユーザー向けのさまざまな炉サイズとモデルの迅速なアニーリング炉を設計および製造できます。
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