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急速なアニーリング炉

急速なアニーリング炉

迅速なアニーリング炉は、省エネの操作炉です。アニーリング炉です。当社が専門的に設計した断熱層を備えており、業界最大の標準的な高純度セラミックファイバー高電圧モジュールを採用して、完全な繊維断熱炉の裏地を形成しています。
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製品説明

 

製品コンセプト

 

Rapid annealing furnace

迅速なアニーリング炉は、省エネの操作炉です。アニーリング炉です。当社が専門的に設計した断熱層を備えており、業界最大の標準的な高純度セラミックファイバー高電圧モジュールを採用して、完全な繊維断熱炉の裏地を形成しています。炉の加熱要素は、材料から設計へと厳密に制御され、最高の熱効率を実現し、迅速な加熱を達成し、アニーリング熱処理プロセスを迅速に完了します。省エネと省電力の利点はより顕著です。マイクロコンピュータープログラムは、アニーリングプロセス全体を制御し、アニーリングプロセスに必要な電力をリアルタイムで自動的に計算し、前年比でエネルギーとパワーを30〜50%節約します。


炉は通常、ヨウ素タングステンランプを加熱要素として使用し、温度測定にはSタイプの熱電対を使用し、高温制御精度で国際的にリードするファジーピド制御を使用して使用します。<±5℃>、そして、迅速なアニーリング炉には、さまざまな雰囲気で動作できる真空デバイスがあります。使用範囲を大幅に改善します。必要な標準アクセサリ:1ペアの高温手袋、1つの熱電対、1つのクォーツチューブ、1セットの真空フランジ。オプションのアクセサリ:アルミナクルーシブル、クォーツクルーシブル、真空ポンプ。

 

製品機能

 

1。高動作温度。

2。高温制御精度。

3。単純な操作。

4。簡単なメンテナンス。

 

アプリケーション領域

 

1。ラピッドサーマルプロセシング(RTP)、迅速なアニーリング(RTA)、急速熱酸化(RTO)、急速熱窒化(RTN);

2。イオン着床/接触アニーリング。

3。金属合金;

4。熱酸化処理。

5。化合物合金(hallium、harsenide、窒化物など);

6。ポリシリコンアニーリング。

7。太陽電池アニーリング。

8。高温アニーリング。

9。高温拡散。

 

技術的なパラメーター

 

パラメーター名

ユニット

モデル

RT4-180-9

RT4-220-9

RT4-300-9

定格電力

KW

180

220

300

定格電圧

V

380

動作温度。

程度

950

炉のサイズ

D

うーん

2100

2500

3000

W

うーん

1050

1300

1500

H

うーん

750

900

1200

加熱要素接続

 

Y

空の炉の暖房時間

h

2-3

温度制御の精度

程度

±1

マックス。負荷容量

Kg

5000

7000

11000

重さ

キログラム

5600

8500

9200

 

当社は、ユーザーのニーズに応じて、ユーザー向けのさまざまな炉サイズとモデルの迅速なアニーリング炉を設計および製造できます。

 

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